特許
J-GLOBAL ID:200903051519852500
パワートランジスタセル
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-506685
公開番号(公開出願番号):特表2001-512909
出願日: 1998年08月07日
公開日(公表日): 2001年08月28日
要約:
【要約】コンタクトフィンガーを備えた個別トランジスタの配置構成からなるパワートランジスタセルであって、その上に導電的かつ熱伝導的エアーブリッジ(1)が被着されている。このエアーブリッジは、コンタクトフィンガの長手方向においてコンタクトフィンガの長さを著しく越えて突出する。それによりコンタクトフィンガーの列に対して側方に既存のエアーブリッジの成分が導電的なコンタクトピラー(8)によって金属性端子面にまたは基板表面に被着され得る。それに伴って個別トランジスタからの良好な熱放散が作用し得る。
請求項(抜粋):
それぞれ少なくとも1つの別個の接続コンタクトを備えた個別トランジスタからなるパワートランジスタセルにおいて、 前記接続コンタクトがエアーブリッジ(1)を介して相互に熱伝導的に接続されており、 前記エアーブリッジ(1)はコンタクトの平面内で、該当するコンタクトを含んだ最小の凸領域を越えて全ての方向に突出する寸法を有していることを特徴とする、パワートランジスタセル。
IPC (4件):
H01L 21/331
, H01L 29/73
, H01L 21/768
, H01L 23/48
FI (3件):
H01L 23/48 L
, H01L 29/72
, H01L 21/90 N
Fターム (24件):
5F003AP00
, 5F003BA00
, 5F003BA11
, 5F003BA92
, 5F003BC09
, 5F003BC90
, 5F003BE09
, 5F003BE90
, 5F003BF06
, 5F003BH00
, 5F003BH01
, 5F003BH02
, 5F003BH16
, 5F003BH18
, 5F003BJ12
, 5F003BJ16
, 5F003BM02
, 5F033GG02
, 5F033NN19
, 5F033NN30
, 5F033NN33
, 5F033RR30
, 5F033VV07
, 5F033XX22
引用特許: