特許

J-GLOBAL ID：200903051526674200

圧電アクチュエータの製造方法および液体吐出ヘッド

発明者： 塚本 竜児 ,  藤沢 友弘 ,  井上 淳一 ,  河合 誠子 ,  ドアラ
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社 ,  FDK株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-073417
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235597
出願日： 2007年03月20日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：

【課題】 機械的な剥離を防止して耐久性を確保しつつ、発生圧力の向上と変位量の向上を両立させること。 【解決手段】 (A)所定の基板20a上に、(B)導電性材料からなる下部電極11を形成し、(C)下部電極11上に圧電材料からなる圧電体12を形成し、(D)圧電体12上に導電性材料からなる上部電極13を形成する圧電アクチュエータ10の製造方法において、下部電極11をスパッタ法、CVD法、蒸着法などの真空成膜法で形成し、且つ、圧電体12をスクリーン印刷で形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

所定の基板上に、導電性材料からなる下部電極を形成し、該下部電極上に圧電材料からなる圧電体を形成し、該圧電体上に導電性材料からなる上部電極を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、 前記下部電極を真空成膜法で形成し、且つ、前記圧電体をスクリーン印刷で形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。

IPC (6件)：

H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (7件)：

H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J

Fターム (6件)：

2C057AF69 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP58 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• セラミックス素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-246332   出願人：富士電機株式会社