特許

J-GLOBAL ID：200903051579618085

硬質カラー薄膜の製造法

発明者： 村山 洋一 ,  柏木 邦宏
出願人/特許権者： 村山 洋一
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346491
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181008
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【構成】 高周波励起イオンプレーティングにより色素物質を蒸着し、次いで透明オーバーコート膜を気相蒸着して硬質カラー薄膜を基体表面に形成する。また、高周波励起イオンプレーティングによりITO透明導電性薄膜等を形成する。【効果】 液晶カラーフィルター等として有用な、硬質で、鮮明なカラー薄膜が得られる。その耐食性、付着性も良好である。

請求項（抜粋）：

高周波励起イオンプレーティングにより色素物質を蒸着し、次いで透明膜を蒸着して硬質カラー薄膜を基体表面に形成することを特徴とする硬質カラー薄膜の製造法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343