特許

J-GLOBAL ID：200903051589257730

カーボンナノチューブデバイス及びカーボンナノチューブデバイスの製造方法

発明者： 野田 優 ,  丸山 茂夫
出願人/特許権者： 社団法人化学工学会
代理人 (1件)： 特許業務法人志成特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-219370
公開番号（公開出願番号）：特開2006-035379
出願日： 2004年07月27日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：

【課題】 カーボンナノチューブの合成条件は1000°C前後、低くても600°C程度と高温であり、その様な条件下、基板上の触媒金属ナノ粒子は、凝集・融合・粗大化を起こし、ナノサイズを保つのが困難になる。 【解決手段】 基板上に穴の開いたマスクを設置し、触媒物質を供給することで、微量の触媒物質を基板上に担持できる。カーボンナノチューブの合成条件での、触媒物質の凝集・融合・粗大化を利用し、微量の触媒物質から触媒金属ナノ粒子を自発的に形成することで、カーボンナノチューブの合成を容易にする。触媒物質が基板上で分布を持つことを利用することで、基板と、基板上の特定の位置からの距離に応じて数密度の減少するカーボンナノチューブを具備することを特徴とするカーボンナノチューブデバイスを作製できる。 【選択図】 なし。

請求項（抜粋）：

基板と、基板上の特定の位置からの距離に応じて数密度が連続的に変化するカーボンナノチューブのパターンを具備することを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。

IPC (2件)：

B82B 1/00 ,  C01B 31/02

FI (2件)：

B82B1/00 ,  C01B31/02 101F

Fターム (9件)：

4G146AA12 ,  4G146AD28 ,  4G146BA11 ,  4G146BA48 ,  4G146BC33B ,  4G146BC37B ,  4G146BC38B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44