特許

J-GLOBAL ID：200903051591624783

アルミニウムエッチング液の取り扱い方法

発明者： 寧 暁山 ,  銭盛 隆志 ,  清水 透
出願人/特許権者： 同和鉱業株式会社
代理人 (1件)： 澤木 誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130871
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 従来、アルミニウム-セラミックス複合部材の製造においては、エッチング後におけるスカート幅が大きくなり、寸法不良による歩留低下という欠点があった。【解決手段】 本発明のアルミニウムエッチング液の取り扱い方法においては、エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液に過酸化水素を添加して塩化第二鉄溶液のORP値を495以上ならしめる。

請求項（抜粋）：

エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液における塩化第二鉄溶液のORP値を495以上、好ましくは520以上の範囲に維持することを特徴とするアルミニウムエッチング液の取り扱い方法。

IPC (3件)：

C23F 1/46 ,  C23F 1/00 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

C23F 1/46 ,  C23F 1/00 A ,  H01L 21/308 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• セラミックス電子回路基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-088777   出願人：同和鉱業株式会社
• アルミ電解コンデンサ用陰極箔の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121189   出願人：松下電器産業株式会社
• エッチング処理法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-135841   出願人：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社
• 特開平4-337089