特許
J-GLOBAL ID：200903051591624783
アルミニウムエッチング液の取り扱い方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澤木 誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130871
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】 従来、アルミニウム-セラミックス複合部材の製造においては、エッチング後におけるスカート幅が大きくなり、寸法不良による歩留低下という欠点があった。【解決手段】 本発明のアルミニウムエッチング液の取り扱い方法においては、エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液に過酸化水素を添加して塩化第二鉄溶液のORP値を495以上ならしめる。
請求項（抜粋）：
エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液における塩化第二鉄溶液のORP値を495以上、好ましくは520以上の範囲に維持することを特徴とするアルミニウムエッチング液の取り扱い方法。
IPC (3件)：
C23F 1/46
, C23F 1/00
, H01L 21/308
C23F 1/46
, C23F 1/00 A
, H01L 21/308 F
