特許
J-GLOBAL ID:200903051596482057

酸化物単結晶の板状体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-065123
公開番号(公開出願番号):特開2001-253792
出願日: 2000年03月09日
公開日(公表日): 2001年09月18日
要約:
【要約】【課題】酸化物単結晶の板状体をマイクロ引き下げ法によって育成するのに際して、良好な結晶性を有する板状体を、連続的に安定して育成する。【解決手段】酸化物単結晶の原料をルツボ7内で溶融させ、溶融物に対して板状種結晶15を接触させる。種結晶15を引き下げることによって溶融物18をルツボ7の開口13cから引下げ、種結晶15に続いて板状体14を生成させる。この際、種結晶15の各結晶軸の各格子定数と板状体14の対応する各結晶軸の各格子定数との差をそれぞれ0.1%以下に制御する。
請求項(抜粋):
酸化物単結晶の板状体を製造する方法であって、前記酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して板状種結晶を接触させ、この板状種結晶を引き下げることによって前記溶融物を前記ルツボの開口から引下げ、前記板状種結晶に続いて前記板状体を生成させ、この際前記板状種結晶の各結晶軸の各格子定数と前記板状体の対応する各結晶軸の各格子定数との差をそれぞれ0.1%以下に制御することを特徴とする、酸化物単結晶の板状体の製造方法。
IPC (4件):
C30B 15/08 ,  C30B 29/30 ,  G02F 1/355 501 ,  G02F 1/37
FI (4件):
C30B 15/08 ,  C30B 29/30 A ,  G02F 1/355 501 ,  G02F 1/37
Fターム (11件):
2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002FA03 ,  2K002HA13 ,  4G077AA02 ,  4G077AA10 ,  4G077AB07 ,  4G077BC31 ,  4G077CF01 ,  4G077CF02
引用特許:
審査官引用 (3件)

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