半田ボールの搭載方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113267
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129374
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】パッドの上に半田バンプ用の半田ボールを搭載する方法に関し、半田ボールの搭載を確実かつ搭載位置の精度向上を目的とする。【構成】本体15の下面に半田ボール2を真空吸着する半田ボール吸着ヘッド1には、半田ボール2が嵌合する透孔4を有する半田ボールマスク3と、本体15の下面に沿って半田ボールマスク3を移動せしめる手段とを設ける。ピン10を使用し絶縁基板7のパッド8に半田フラックス11を転写する。半田ボール2の真空吸着を解除し、半田ボールマスク3の移動または、本体15に印加した衝撃力と半田ボールマスク3の移動によって、半田ボール2をパッド8の半田フラックス11の上に載置する。半田ボールマスク3の移動によって、パッド8の中心とパッド8上の半田ボール2の中心とがほぼ一致するように構成する。さらに、ホットプレート12を利用して、半田ボール2をパッド8に融着させる構成とする。

請求項（抜粋）：

本体(15)の下面に半田ボール(2) を真空吸着する半田ボール吸着ヘッド(1) には、該半田ボール(2) が嵌合する透孔(4) を有する半田ボールマスク(3) と、該本体(15)の下面に沿って該半田ボールマスク(3) を移動せしめる手段とを設け、ピン(10)の先端に被着させた半田フラックス(11)を絶縁基板(7) の表面の半田バンプ形成用パッド(8) に転写し、該半田ボール(2) の真空吸着を解除し該半田ボール吸着ヘッド本体(15)の下面に沿って該半田ボールマスク(3) を移動させることによって、該半田ボール吸着ヘッド(1) に吸着した半田ボール(2) を該パッド(8) の半田フラックス(11)の上に載置させることを特徴とする半田ボールの搭載方法。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 , H01L 21/321

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-242759
特公昭61-014913
特公昭63-048440

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