特許
J-GLOBAL ID:200903051604701154

一体化微量分析装置用の担体マトリックス、その製造法およびその使用

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 義雄 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-529278
公開番号(公開出願番号):特表平11-503227
出願日: 1996年03月28日
公開日(公表日): 1999年03月23日
要約:
【要約】表面積と体積との比が高い、シリコンをベースとする担体マトリックスは、一体化微量分析装置で使用するためのものである。該担体マトリックスは、単結晶シリコン本体上に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を含む。担体マトリックスの製造法は、単結晶シリコン本体の電気化学的エッチングを含み、それによって、この本体に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を形成する。一体化微量分析装置での化学センサー用としての、ならびに種々のクロマトグラフィーにおける該担体マトリックスの使用も開示する。
請求項(抜粋):
一体化微量分析装置用の、表面積と体積との比が高い、シリコンをベースとする担体マトリックスであって、単結晶シリコン本体の上に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を含むことを特徴とする、シリコンをベースとする担体マトリックス。
IPC (4件):
G01N 30/60 ,  B01J 20/10 ,  G01N 30/48 ,  H01L 21/208
FI (4件):
G01N 30/60 D ,  B01J 20/10 A ,  G01N 30/48 K ,  H01L 21/208 L
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 微小流路素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-328119   出願人:キヤノン株式会社
  • 特開平4-107155
  • 特開昭63-257653

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