一体化微量分析装置用の担体マトリックス、その製造法およびその使用

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-529278
公開番号（公開出願番号）：特表平11-503227
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】表面積と体積との比が高い、シリコンをベースとする担体マトリックスは、一体化微量分析装置で使用するためのものである。該担体マトリックスは、単結晶シリコン本体上に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を含む。担体マトリックスの製造法は、単結晶シリコン本体の電気化学的エッチングを含み、それによって、この本体に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を形成する。一体化微量分析装置での化学センサー用としての、ならびに種々のクロマトグラフィーにおける該担体マトリックスの使用も開示する。

請求項（抜粋）：

一体化微量分析装置用の、表面積と体積との比が高い、シリコンをベースとする担体マトリックスであって、単結晶シリコン本体の上に少なくとも1つのミクロポーラスシリコン層を含むことを特徴とする、シリコンをベースとする担体マトリックス。

IPC (4件)：

G01N 30/60 , B01J 20/10 , G01N 30/48 , H01L 21/208

FI (4件)：

G01N 30/60 D , B01J 20/10 A , G01N 30/48 K , H01L 21/208 L

引用特許：

出願人引用 (3件)

微小流路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-328119 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-107155
特開昭63-257653

審査官引用 (5件)

微小流路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-328119 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-107155
特開昭63-257653

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