特許
J-GLOBAL ID：200903051616697152
ウェーハの収納装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265922
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ10をカセット30へ確実に収納することができること。【解決手段】 ウェーハ10を、液体が流された傾斜面22に沿って降下させ、傾斜面22の下方で液体中に位置する収納部32へ収納させるウェーハの収納装置において、傾斜面22の下端部23に、投光部25aと受光部25bとが対向されて設けられ、投光部25aから投光された光が遮られることでウェーハ10が通過したことを検知する透過型のセンサー装置25を備える。
請求項（抜粋）：
ウェーハを、液体が流された傾斜面に沿って降下させ、該傾斜面の下方で液体中に位置する収納部へ収納させるウェーハの収納装置において、前記傾斜面の下端部に、投光部と受光部とが対向されて設けられ、前記投光部から投光された光が遮られることでウェーハが通過したことを検知する透過型のセンサー装置を備えることを特徴とするウェーハの収納装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 J
