堆積装置用サセプタ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038850
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055898
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ウェーハ裏面に堆積ガスを流入あるいは拡散されることによりウェーハとサセプタ間に良好な熱伝導を実現し、ウェーハを容易かつ急速に加熱する。【構成】ウェーハ30をその裏面31をサセプタプレート32の表面から離して支持するように成されている。支持ポスト36の長さは、ウェーハ30とプレート表面34との間に堆積ガスが流れたり拡散したりすることを可能にするのに十分な距離だけウェーハ30をプレート表面34から離す長さであって、それでもなお、主として伝導によるプレート32からウェーハ30への熱伝達を可能ならしめる長さである。サセプタプレート32には、支持ポスト36上に着座させられたウェーハ30の横方向移動を防ぐための手段として、保持ピン38または凹部も設けられている。

請求項（抜粋）：

ウェーハの表面上に一つの材料の一つの層を堆積させるための装置用のサセプタであって、表面を有するプレートと、前記プレートの表面から突出する複数の支持ポストとを有し、前記支持ポストが、ウェーハを前記プレート表面から離して前記支持ポスト上に着座させることを可能にする様式(pattern) で相互に間隔を空けて配置されている、サセプタ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C23C 14/50 , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-209822
特開昭61-124572
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-307198 出願人：東京エレクトロン相模株式会社

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