レーザ光走査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024309
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228966
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】従来のレーザ光走査装置は、モータを半波波形の駆動電流で駆動していたため、モータの共振周波数foと1/2周波数fo2による2つのピークがあり、ゲインを上げると1/2周波数fo2でも発振してモータ駆動が安定せず、ミラーの振れ角が不安定となった。【解決手段】本発明は、モータ1のコイルから検出され、ノイズ除去、増幅及び位相補正された検出信号Vfの振幅のボトム値により駆動電流量が規定された制御信号Vcntに制御されるモータ電流制御回路6が、互いに反転する電流波形即ち正弦波又はそれに近い波形で高調波成分がほぼ除かれた駆動電流IDRVを駆動コイル1aへ印加して、共振周波数に同期した高調波を含まない正弦波(sin波)若しくはそれに近い波形の駆動電流IDRVを生成し、駆動コイルに印加して、1/2周波数における発振を防止してモータ駆動を安定化し、ミラーの振れ角やその振れ状態を安定させるレーザ光走査装置である。

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生する光源と、前記光源からのレーザ光を所定の方向に往復走査する走査手段とを含むレーザ光走査装置において、前記走査手段は、磁界を付与するための永久磁石と、周期的に振動駆動され前記レーザ光を所定の方向に往復走査する走査ミラーと、前記走査ミラーを支持するとともに振動駆動力を付与する弾性部材と、前記永久磁石に隣接して配置された駆動巻線及び検出巻線の2つの巻線を備えたコイルとからなる共振モータと、前記検出巻線からの出力信号に同期した正弦波若しくは高調波成分を少なくした波形の駆動電流を前記駆動巻線に印加する駆動電流印加回路及び、前記検出巻線からの出力信号の振幅が所定値になるように前記駆動電流の振幅を制御する振幅制御回路で構成されたモータ駆動回路と、を具備することを特徴とするレーザ光走査装置。

IPC (9件)：

G02B 26/10 104 , G06K 7/10 , H02K 33/04 , H02K 33/06 , H02K 33/08 , H02K 33/16 , H02K 33/18 , H02P 7/00 101 , H02P 7/00

FI (10件)：

G02B 26/10 104 Z , G06K 7/10 G , G06K 7/10 D , H02K 33/04 A , H02K 33/06 , H02K 33/08 , H02K 33/16 A , H02K 33/18 A , H02P 7/00 101 E , H02P 7/00 101 B

Fターム (23件)：

2H045AB10 , 2H045AB24 , 2H045AB44 , 2H045AB62 , 2H045DA41 , 5B072CC24 , 5B072LL01 , 5H540AA07 , 5H540BA03 , 5H540BA06 , 5H540BB07 , 5H540EE04 , 5H633BB02 , 5H633BB08 , 5H633GG02 , 5H633GG03 , 5H633GG08 , 5H633GG17 , 5H633GG23 , 5H633HH02 , 5H633HH03 , 5H633HH06 , 5H633JA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭56-089712
特開昭63-287817
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-190432 出願人：株式会社キーエンス

前のページに戻る