特許

J-GLOBAL ID：200903051648543262

IC試験装置

発明者： 中村 浩人 ,  増尾 芳幸 ,  根本 眞
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-272459
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113581
出願日： 1995年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 トレーを上下動させるエレベータの数を少なくしたIC試験装置を提供する。【解決手段】 1台のエレベータをトレーストッカの配列方向に移動自在に配置し、トレーの上げ下げを必要とするトレーストッカの部分に移動させ、その位置で積み重ねられているトレーを上げ、下げし、被試験ICを収納したトレーをローダ部側の窓に装着する動作、及び空になったトレーを空トレーストッカに回収する動作、空トレーストッカから、アンローダ側の窓に空トレーを供給する動作を行なわせる。

請求項（抜粋）：

基板に複数の窓が1列に配列されて形成され、この複数の窓の中の一部の窓に被試験ICを収納したトレーを下側から装着して窓を通じて被試験ICをテストトレーに積み込み、被試験ICを積み込んだテストトレーをテスト部に搬送し、被試験ICを試験すると共に、他の窓に装着した空のトレーに試験済のICをテストトレーから積み替えてICを試験する構造のIC試験装置において、上記複数の窓の配列方向に移動自在に支持したエレベータを設け、各窓の下側に設けたトレー支持枠に支持されたトレーの何れでも、上記エレベータで押し上げ、上記窓にトレーを装着する動作および装着状態から取外す動作を実行できるように構成したことを特徴とするIC試験装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

G01R 31/26 Z ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• オートマチックテストハンドラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349937   出願人：シン-テクシステムズインコーポレイティド, 株式会社アドバンテスト
• 特開昭63-265439
  
• 特開昭63-229837