特許
J-GLOBAL ID：200903051661292740
自動搬送方法及び自動搬送システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-374359
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195924
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 設備のカセットステージ上のカセットその他の障害物の有無についての誤判断を避け、もってカセットの衝突を確実に防止する自動搬送方法及び自動搬送システムを提供する。【解決手段】 設備1は、カセットセンサ4により、カセットステージ3上にカセットが有るか無いかを調べ、無いと判断すると、その旨を自動搬送車2に知らせ、これを受けた自動搬送車2は、カメラ8により、設備1のカセットステージ3の画像情報を取り込んで、画像認識装置9で処理し、カセットステージ3にカセットその他の障害物が有るか無いか調べ、カセットその他の障害物が無いことを確認したら、ハンド10にカセット11を把持させて設備1のカセットステージ3に移載させる。
請求項（抜粋）：
設備のカセット検出手段により、設備のカセットステージにカセットが無いと判断してから、自動搬送車が搬送してきたカセットを設備に移載する自動搬送方法において、設備のカセット検出手段によりカセットステージにカセットが無いと判断されたことに併せて、自動搬送車が設備のカセットステージの画像情報を取り込んで処理することにより、カセットステージにカセットその他の障害物が無いと判断すると、自動搬送車が搬送してきたカセットを設備に移載することを特徴とする自動搬送方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, G05D 1/02 P
5F031GA45
, 5F031GA58
, 5F031GA59
, 5F031JA04
, 5F031JA22
, 5H301AA02
, 5H301BB05
, 5H301CC03
, 5H301CC10
, 5H301GG03
, 5H301GG09
, 5H301MM01
, 5H301MM09
