特許

J-GLOBAL ID：200903051671593030

赤外線センサ

発明者： 久保 竜一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146655
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330511
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 出力が大きくて感度の良い赤外線センサを提供する。【解決手段】 基板12と、基板に支持されるダイヤフラム部14と、基板の上に冷接点20が形成されダイヤフラム部の上に温接点18が形成される少なくとも一つの熱電対16と、ダイヤフラム部の上に熱電対の温接点を覆いながら形成される赤外線吸収24を含む赤外線センサであって、赤外線吸収膜の面積を前記ダイヤフラム部の面積の64%から100%にしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板、前記基板に支持されるダイヤフラム部、前記基板の上に冷接点が形成され前記ダイヤフラム部の上に温接点が形成される少なくとも一つの熱電対、および前記ダイヤフラム部の上に前記熱電対の温接点を覆いながら形成される赤外線吸収膜を含む赤外線センサであって、前記赤外線吸収膜の面積を前記ダイヤフラム部の面積の64%から100%にしたことを特徴とする、赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 35/32

FI (3件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 B ,  H01L 35/32 A

Fターム (14件)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA32 ,  2G065BA38 ,  2G065BC24 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA51 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線検知素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-221709   出願人：日産自動車株式会社
• 特開平3-189526
  
• 特開昭60-046431