特許

J-GLOBAL ID：200903051690700513

回転体上異物位置測定装置

発明者： 磯崎 久
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280700
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145620
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 回転体の形状情報と回転体上の異物を同時に検出して、短時間に回転体の形状検出と回転体上の異物の位置座標測定を高精度に行うことができ、かつ回転体の回転中心軸線方向の位置合わせを上記測定と並行して行うことができる回転体上異物位置測定装置を提供すること。【構成】 検査対象物を回転させて回転体とする回転手段と、回転体の回転位置を検出するための回転位置検出部と、回転体を照射する照射光学系と、回転体の正反射光を受光し、回転体の形状情報及び回転中心軸線方向の位置を検出するための第1受光系と、回転体の散乱反射光の光量を受光し、回転体上の異物を検出するための第2受光系とを包含することを特徴とする回転体上異物位置測定装置。

請求項（抜粋）：

検査対象物を回転させて回転体とする回転手段と、回転体の回転位置を検出するための回転位置検出部と、回転体を照射する照射光学系と、回転体の正反射光を受光し、回転体の形状情報及び回転中心軸線方向の位置を検出するための第1受光系と、回転体の散乱反射光の光量を受光し、回転体上の異物を検出するための第2受光系とを包含することを特徴とする回転体上異物位置測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-220838
  
• 面板異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-278918   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社, 株式会社日立製作所