特許
J-GLOBAL ID：200903051694981614
レンズシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322754
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209569
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 汚染を防止するためにガスを満たしたホルダ内に配置されたレンズエレメントを有するレンズシステムと、このようなシステムを含むフォトリソグラフィ装置を提供する。【構成】 高品質なレンズシステム(PL)を低屈折率のガスで洗浄して、光学的な動作上の環境パラメータの変化の影響を減少するようにした。このガスに極めて少量のオゾンを加えることによって、紫外線による有機粒子の分解および分解生成物の沈殿によるレンズホルダ(PLH)内のレンズエレメント上への堆積物の生成が防止される。
請求項（抜粋）：
低屈折率のガスで満たされ、装置に連結されるレンズホルダ内に配置された複数のレンズエレメントを具えるレンズシステムにおいて、前記ガスがオゾンを1立方メートルあたり数グラム以下の濃度で含むことを特徴とするレンズシステム。
IPC (2件)：
引用特許：
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