特許
J-GLOBAL ID：200903051789195098
ブラックマトリックスパターン製造用感光性フィルム及びこのフィルムを用いたブラックマトリックスパターンの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-080416
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274847
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 段差が少なく、高精度の金属を主成分とするブラックマトリックスパターンを容易に低コストで製造できる感光性フィルム及びパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (b)膜厚が0.5〜18μmの感光性樹脂層を有してなる、金属を主成分とするブラックマトリックスパターン製造用感光性フィルム及び金属を主成分とする薄膜が形成された基板上に積層された前記感光性フィルムの膜厚が0.5〜18μmの感光性樹脂層を、パターン状に露光し、現像により選択的に除去してレジストパターンを形成し、次いで、エッチングにより金属を主成分とする薄膜のレジストパターンに覆われていない部分を除去し、次いで、レジストパターンを除去して金属を主成分とする薄膜パターンを形成するブラックマトリックスパターンの製造法。
請求項（抜粋）：
(b)膜厚が0.5〜18μmの感光性樹脂層を有してなる、金属を主成分とするブラックマトリックスパターン製造用感光性フィルム。
IPC (10件)：
G03F 7/004 505
, C23F 1/00 102
, G02B 5/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/075 501
, G03F 7/40 521
, C09D 4/06
G03F 7/004 505
, C23F 1/00 102
, G02B 5/00 B
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/075 501
, G03F 7/40 521
, C09D 4/06
