特許

J-GLOBAL ID：200903051790558919

フォトン走査トンネル顕微鏡

発明者： 興梠 元伸 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-055698
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260807
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】測定精度が高く、試料及び光ファイバプローブを破損することがなく、光学像の測定と同時に原子間力の測定を行なうことができるフォトン走査トンネル顕微鏡を提供する。【構成】光学系10はレーザ光源1からの照明光を試料2表面に照射し、光ファイバプローブ3は試料2表面に局在するエバネッセント光を集光し、フォトダイオード4は光ファイバプローブ3からの光を検出して検出出力を出力し、駆動部5は検出端部3bが試料2表面を走査するように試料2を駆動すると共に、位置情報を出力する。制御部6は、変位検出部20で検出した変位に基づいて光ファイバプローブ3が試料2表面から受ける力を測定し、駆動部5からの位置情報とフォトダイオード4からの検出出力と、測定した力とに基づいて試料2の形状を測定する。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する照明光源と、該照明光源からの照明光を導いて試料表面に照射する光学系と、先端を先鋭化させた光ファイバからなり、試料に対して傾斜させて配設され、試料表面に局在するエバネッセント光を散乱させて集光する光ファイバプローブと、該光ファイバプローブからの光を検出して検出出力を出力する光検出手段と、上記光ファイバプローブの先端が試料表面を走査するように試料と光ファイバプローブとの位置関係を変化させると共に、位置情報を出力する走査手段と、上記光ファイバプローブの変位を検出する変位検出手段と、該変位検出手段で検出した変位に基づいて光ファイバプローブが試料表面から受ける力を測定する測定手段と、上記走査手段からの位置情報と、上記検出手段からの検出出力と、上記測定手段で測定した力とに基づいて試料の形状を測定する形状測定手段とを備えることを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 5/20 ,  G02B 6/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微細表面観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-256817   出願人：セイコー電子工業株式会社, 藤平正道