特許

J-GLOBAL ID：200903051799708972

エアーナイフ乾燥装置

発明者： 岡島 弘明
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176956
公開番号（公開出願番号）：特開2001-355964
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 水滴を完全に吹き飛ばしたうえで、パーティクル等の不純物質を含むミストの再付着を防止したエアーナイフ乾燥装置を提供する。【解決手段】 基板1の搬送の上流側に配置された第1のエアーナイフ2と、下流側に配置された第2のエアーナイフ3とを備え、第1および第2のエアーナイフは、搬送方向に沿って見て、被乾燥物に対して互いに逆方向から気体を吹き付け、かつ、平面的に見て、互いに他方の吹出口の全幅についての吹出し方向の範囲内に位置しない配置を有する。

請求項（抜粋）：

被乾燥物の搬送の上流側に配置された第1のエアーナイフと、下流側に配置された第2のエアーナイフとを備え、前記第1および第2のエアーナイフは、搬送方向に沿って見て、前記被乾燥物に対して互いに逆方向から気体を吹き付け、かつ、平面的に見て、互いに他方の吹出口全幅についての吹出し方向の範囲内に位置しない配置を有する、エアーナイフ乾燥装置。

IPC (3件)：

F26B 5/00 ,  F26B 15/00 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

F26B 5/00 ,  F26B 15/00 C ,  G02F 1/13 101

Fターム (12件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  3L113AA02 ,  3L113AB09 ,  3L113AB10 ,  3L113AC46 ,  3L113AC48 ,  3L113AC49 ,  3L113AC67 ,  3L113BA34 ,  3L113DA24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板の液切り乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117620   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• エアーナイフ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-199910   出願人：島田理化工業株式会社