特許

J-GLOBAL ID：200903051826068476

ダイシングテープ

発明者： 杉田 大平 ,  畠井 宗宏 ,  福岡 正輝 ,  林 聡史 ,  下村 和弘 ,  北島 義一 ,  大山 康彦
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-012148
公開番号（公開出願番号）：特開2006-202926
出願日： 2005年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】 貫通電極付きICチップの製造に好適に用いることができるダイシングテープを提供する。【解決手段】 貫通電極付きICチップの製造に用いるダイシングテープであって、基材と、前記基材上に積層された厚さ15〜50μmの粘着剤層を有し、前記粘着剤層は、ゲル分率が30〜80%、かつ、周波数10Hz、設定歪み0.5%、昇温速度3°C/minの条件で剪断法により測定した動的粘弾性に基づく10°Cにおける貯蔵弾性率が5×105Pa以上であるダイシングテープ。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

貫通電極付きICチップの製造に用いるダイシングテープであって、 基材と、前記基材上に積層された厚さ15〜50μmの粘着剤層を有し、 前記粘着剤層は、ゲル分率が30〜80%、かつ、周波数10Hz、設定歪み0.5%、昇温速度3°C/minの条件で剪断法により測定した動的粘弾性に基づく10°Cにおける貯蔵弾性率が5×105Pa以上である ことを特徴とするダイシングテープ。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  C09J 4/00 ,  C09J 7/02 ,  C09J 133/06

FI (4件)：

H01L21/78 M ,  C09J4/00 ,  C09J7/02 Z ,  C09J133/06

Fターム (34件)：

4J004AA01 ,  4J004AA10 ,  4J004AA13 ,  4J004AA14 ,  4J004AA15 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB07 ,  4J004AC03 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC03 ,  4J004CD02 ,  4J004CE01 ,  4J004EA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J040FA13 ,  4J040FA23 ,  4J040FA26 ,  4J040FA28 ,  4J040FA29 ,  4J040HB41 ,  4J040HC14 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040JB07 ,  4J040JB08 ,  4J040KA12 ,  4J040KA13 ,  4J040KA37 ,  4J040MA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ダイシングテープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-301022   出願人：沖電気工業株式会社