特許

J-GLOBAL ID：200903051831946848

アクティブ除振装置、モード行列の算出方法およびこれらを用いた露光装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-279284
公開番号（公開出願番号）：特開2002-089619
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 アクティブ除振装置における振動制御ループを、従来の運動モード別に代えて振動モード別に構成する制御系を提供する。モード行列φを短時間、高精度に求めるための算出法の確立を行う。【解決手段】 時間応答に基づく方法では、擬似インパルスによって除振台を斜めに加振したときに得られる全ての加速度センサの時間応答波形を取得する(ステップS802)。この時間応答波形を周波数分析する(ステップS803)ことによって、モード行列φを算出し(ステップS804)、これを使って、振動モード別非干渉化制御系へ実装する(ステップS805)。周波数応答に基づく方法では、除振台を斜めに加振する組み合わせの軸に正弦波を掃引し、全ての加速度センサまでの周波数応答を取得し、取得した周波数応答をナイキスト線図で表示し、各円に適合するパラメータを求め、これをφとなす。得られたφを振動モード別非干渉化制御系に実装する。

請求項（抜粋）：

除振台と、該除振台を駆動する複数のアクチュエータと、該除振台の振動を検出する複数の振動計測手段と、該除振台の変位を検出する複数の位置計測手段とを備え、前記振動計測手段の出力に基づく振動モードごとの振動制御ループと、前記位置計測手段の出力に基づく運動モードごとの位置制御ループと、を具備することを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  G05D 19/02

FI (6件)：

F16F 15/02 M ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 19/02 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (11件)：

3J048AA06 ,  3J048AB08 ,  3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048BE02 ,  3J048CB23 ,  3J048DA03 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03