特許

J-GLOBAL ID：200903051932062622

圧電振動片の製造方法および圧電振動子

発明者： 白石 茂
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-379803
公開番号（公開出願番号）：特開2006-186809
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】 圧電振動片本体と枠部との間に狭い貫通溝を形成すると共に、圧電振動片本体の加工精度を向上させる圧電振動片の製造方法および圧電振動子を提供する。【解決手段】 圧電振動片10の製造方法は、圧電振動片本体12と、この圧電振動片本体12を囲む枠部16とを備えた圧電振動片10の製造方法であって、圧電基板22の表面側から砥粒を前記圧電基板22に吹き付けて前記圧電振動片本体12と前記枠部16との間に設けられる貫通溝18を形成し、前記圧電振動片本体12が形成される部分に対応した前記圧電基板22の表裏面をケミカルエッチングして発振周波数に対応した厚さに形成する構成である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

圧電振動片本体と、この圧電振動片本体を囲む枠部とを備えた圧電振動片の製造方法であって、 圧電基板の表面側から砥粒を前記圧電基板に吹き付けて、前記圧電振動片本体と前記枠部との間に設けられる貫通溝を形成し、 前記圧電振動片本体が形成される部分に対応した前記圧電基板の表裏面をケミカルエッチングして発振周波数に対応した厚さに形成する、 ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (1件)：

H03H 3/02

FI (1件)：

H03H3/02 B

Fターム (1件)：

5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 厚みすべり水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-005525   出願人：株式会社明電舎
• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-073156   出願人：シチズン時計株式会社