特許
J-GLOBAL ID：200903051936162680
マスククランプの移動機構および成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
村上 友一
, 大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-047812
公開番号（公開出願番号）：特開2006-233256
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 マスククランプの移動量を複数に分割するマスククランプの移動機構およびこの機構を備えた成膜装置を提供する。【解決手段】 マスククランプ20の移動機構は、有機EL素子を製造するための成膜装置におけるマスククランプ20の移動機構であって、有機材料12の蒸発源14に対向して配設され、基板とマスク34とが重ね合わされるチャック16と、先端部20aを鉤型に形成してなるとともに、チャック16に重ね合わされたマスク34を前記先端部20aで保持するマスククランプ20と、前記基板クランプ18を移動させる伸縮手段22とを備え、前記伸縮手段22は、第1伸縮手段24を装置本体11に配設するとともに、伸縮動作をなす第1ロッドを板部材23に接続し、第2伸縮手段26を前記板部材23に配設するとともに、伸縮動作をなす第2ロッドを前記基板クランプ18の基端部に接続または接触させてなる構成である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機EL素子を製造するための成膜装置におけるマスククランプの移動機構であって、
有機材料の蒸発源に対向して配設され、基板とマスクとが重ね合わされるチャックと、
前記チャックに重ね合わされた前記マスクを保持するマスククランプと、
基板クランプを移動させる伸縮手段とを備え、
前記伸縮手段は、第1伸縮手段を装置本体に配設するとともに、伸縮動作をなす第1ロッドを板部材に接続し、第2伸縮手段を前記板部材に配設するとともに、伸縮動作をなす第2ロッドを前記基板クランプの基端部に接続または接触させてなる、
ことを特徴とするマスククランプの移動機構。
IPC (6件)：
C23C 14/24
, C23C 14/04
, C23C 14/12
, C23C 14/56
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 G
, C23C14/04 A
, C23C14/12
, C23C14/56 J
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA04
