表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166553
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】鋼板等のように連続的に製造されて送られるシ-ト状製品の表面の模様状疵をオンラインで連続的に検出することは困難であった。【解決手段】鋼板4に対して一定入射角で偏光を入射し、その反射光の3種類の異なる偏光をリニアアレイカメラ8a,8b,8cで検出し偏光画像を得る。この偏光画像を信号処理部10で正常部が全階調の中心輝度になるように正規化して正常部に対する相対的な変化を示す画像信号に変換する。この画像信号からエリプソパラメ-タtanΨとcosΔ及び反射光強度I0を演算し、tanΨ,cosΔ,I0の相対値画像を形成する。この相対値画像からtanΨ,cosΔ,I0の相対的な変化を検出して鋼板4の表面の疵の種類を検出する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は幅方向に長いビ-ムの偏光を被検査面に入射し、受光部は被検査面からの反射光の光路に設けられ、それぞれ異なる方位角を有する3個の検光子と、各検光子を透過した光を受光するリニアアレイセンサとを有し、被検査面からの反射光を入射し画像信号に変換し、信号処理部は各リニアアレイセンサからの出力画像信号を正規化して平坦化し、平坦化した画像信号からエリプソパラメ-タである振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔ及び反射光強度I0の相対値を演算し、演算した振幅反射率比tanΨと位相差cosΔ及び反射光強度I0の相対値から被検査面の表面の異常の有無を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 , G01N 21/21

FI (2件)：

G01N 21/89 B , G01N 21/21 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

表面疵の検出方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091695 出願人：日本鋼管株式会社
特開昭62-293104
特開平4-294227

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