特許
J-GLOBAL ID:200903051938517346

熱式流速センサ及びこれを用いたセンサシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 菅原 正倫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-098287
公開番号(公開出願番号):特開平10-281839
出願日: 1997年03月31日
公開日(公表日): 1998年10月23日
要約:
【要約】【課題】 流速の計測を妨げることなく流速検知素子に付着した付着物を焼失(クリーニング)することができる熱式流速センサ及びこれを用いたセンサシステムを提供する。【解決手段】 熱式流速センサシステムは、次の要件を備えたことを特徴とする。?@流速検知素子6:抵抗発熱体21を備え、通電発熱する該抵抗発熱体21の電気抵抗値が、流体との直接的又は間接的な接触により変化することに基づいて流体の流速を検知する。?Aクリーニング機構22:その流速検知素子6に付着した付着物を発熱体22の発熱により少なくとも部分的に焼失させる。?Bクリーニング機構作動制御手段:流速検知素子6が検知する流体の流速が所定値以下となった場合に、流速検知素子6の発熱体22の発熱を開始させる。
請求項(抜粋):
通電発熱する流速検知用抵抗発熱体の電気抵抗値が、流体との直接的又は間接的な接触により変化することに基づいて前記流体の流速を検知する流速検知素子と、前記流速検知素子が検知する前記流体の流速が所定の値以下となった場合に、前記流速検知素子に付着した付着物をクリーニング用発熱体の発熱により少なくとも部分的に焼失させるクリーニング機構と、を備えたことを特徴とする熱式流速センサ。
IPC (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12
FI (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 熱式流速センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-225910   出願人:日本特殊陶業株式会社
  • 特開平3-099273
  • ガスメータ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-246331   出願人:東京瓦斯株式会社

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