特許

J-GLOBAL ID：200903051945030401

強磁性ホール素子

発明者： 渡辺 雅人 ,  吉佐 忠義 ,  増本 健
出願人/特許権者： 財団法人電気磁気材料研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315765
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102656
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【目的】本発明は、最大で数百mV以上の出力電圧を示し、磁場感度に優れた強磁性ホール素子を提供することにある。【構成】強磁性ホール素子を超薄膜化したFe-Pt合金で構成することにより、出力電圧と垂直磁化の磁場感度を向上させることができる。非磁性元素の添加あるいは絶縁物とのグラニュラー組織化によって、さらなるホール出力電圧と磁場感度の向上を図ることができる。この素子は耐食性に非常に優れているため、超薄膜状態でも保護膜なしでの利用が可能である。

請求項（抜粋）：

一般式Fe100-x-yPtxMyで表され、Mは非磁性元素Nb、Si、BiおよびHfのうちから選択される1種または2種以上の元素で、かつその原子組成比は30≦x≦75、0≦y≦10であり、膜厚が500Å以下で、1mV/mA以上の飽和ホール電圧を有する合金からなることを特徴とする強磁性ホール素子。