特許
J-GLOBAL ID：200903051968797246
イオン源の電極板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-002120
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189787
出願日： 1996年01月10日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 長寿命で、高い信頼性のイオン源の電極板を提供することを課題とする。【解決手段】 第1の発明は高融点材料あるいは高熱伝導材料からなる2枚の薄板を冶金的に接合してなる電極板において、前記2枚の薄板の表面に耐腐食性の金属を成膜した後に接合し、冷却水出入口の近傍に耐腐食性の金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的に接合してなることを特徴とする。また、第2の発明は高融点材料あるいは高熱伝導材料からなる2枚の薄板の間に溝を設け、この溝にチタンまたは銅合金材料からなる冷却水路用の管を挟んで静水圧成型法により接合・一体化させたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
高融点材料あるいは高熱伝導材料からなる2枚の薄板を冶金的に接合してなる電極板において、前記2枚の薄板の表面に耐腐食性の金属を成膜して接合し、冷却水出入口の近傍に耐腐食性の金属材料からなるブッシュを圧入または冶金的に接合してなることを特徴とするイオン源の電極板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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