特許
J-GLOBAL ID:200903051973983694

顕微鏡用物体の検査及び操作のための装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-238639
公開番号(公開出願番号):特開2002-082287
出願日: 2001年08月07日
公開日(公表日): 2002年03月22日
要約:
【要約】【課題】 光軸に沿ったその広がりが使用される顕微鏡対物レンズの焦点深度より大きい三次元物体をも検査及び操作すること。(その際三次元物体のあらゆる位置における物体操作が可能とする。)【解決手段】 (a)顕微鏡(2);(b)照明光線路(5)を規定し、物体(1)を照明するための少なくとも1つの第一光源(3、4);(c)検出光線路(7)を規定し、物体(1)からの戻り光を検出するための検出器(6);(d)操作光線路(9)を規定し、物体(1)を操作するための第二光源(8)を有する顕微鏡用物体の検査及び操作用の装置及びその操作方法において、前記顕微鏡(2)は、共焦点走査型顕微鏡であり、第一光線偏向装置(12)が、前記照明光線路(5)に、第二光線偏向装置(16)が、前記操作光線路(9)に夫々配されているとともに、該照明光線路(5)における光の偏向は、該操作光線路(9)における光の偏向と独立に行われることを特徴とする
請求項(抜粋):
(a)顕微鏡(2);(b)照明光線路(5)を規定し、物体(1)を照明するための少なくとも1つの第一光源(3、4);(c)検出光線路(7)を規定し、物体(1)からの戻り光を検出するための検出器(6);(d)操作光線路(9)を規定する、物体(1)を操作するための第二光源(8)を有する顕微鏡用物体の検査及び操作用の装置において、前記顕微鏡(2)は、共焦点走査型顕微鏡であり、第一光線偏向装置(12)が、前記照明光線路(5)に配され、第二光線偏向装置(16)が、前記操作光線路(9)に配されているとともに、該照明光線路(5)における光の偏向は、該操作光線路(9)における光の偏向と独立に行われることを特徴とする装置。
IPC (4件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/32 ,  G02B 21/36
FI (4件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/32 ,  G02B 21/36
Fターム (13件):
2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB04 ,  2H052AB05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC12 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF19
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • レーザ走査顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-294107   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 共焦点の顕微分光計システム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-010991   出願人:スペクトラ-テックインコーポレーテッド
  • 光学ピンセット
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-201534   出願人:株式会社日立製作所

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