基板搬入搬出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-154102
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004041
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】基板Wを処理ユニット30に移載する際に、移載アーム12を休止させることなく、さらに、基板に対する移載動作の度に基板の有無を調べることが不必要な基板搬入搬出装置を提供すること。【解決手段】ケース1に納められたカセットCを、ボールネジ2を回転させることによってケース1内から取り出す。このとき載置台6は下降するためにカセットCも下降する。そしてカセットCの下降中にセンサ3,4によって、基板Wが収容されている位置を認識する。そして、載置台6は最下位置まで下降して停止し、コントローラ15が移載アーム12を駆動して基板Wを処理部30に移載する。そして、カセットC内の基板Wのすべての処理が完了し、再び収納されるまで載置台6は昇降しない。処理の間、カセットCの基板の収容位置は必要に応じて更新されるため、正確に基板の移載動作を行うことができる。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を収容可能な基板収容器から1枚の基板を取り出して所定の処理を行う処理ユニットに向けて搬出するとともに、処理ユニットにおいて処理が終了した基板を処理ユニットから搬入して基板収容器に収容する基板搬入搬出装置において、基板収容器が載置される載置台と、基板収容器が載置された載置台を昇降させる昇降手段と、昇降手段による基板収容器の昇降中に、その基板収容器に収容されている基板の位置を認識する収容位置認識手段と、収容位置認識手段によって認識された基板の位置に関する位置情報を記憶する記憶手段と、基板収容器と処理ユニットとの間で基板の搬送を行う基板搬送手段と、記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、基板搬送手段の動作を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/02 D , B65G 49/07 C , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

収納物の検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-168794 出願人：松下電器産業株式会社
処理装置及び処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-348917 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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