特許
J-GLOBAL ID:200903052028038955
積層ノズルプレートの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-239423
公開番号(公開出願番号):特開2006-056103
出願日: 2004年08月19日
公開日(公表日): 2006年03月02日
要約:
【課題】 ノズル周辺に付着したインクや異物を容易に除去できると共に、ノズルプレートと段差を形成する保護プレートとを高精度な位置調整を必要せずに効率よく接合できる積層ノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】 (A)図に示すように、板状のノズルプレート14と保護プレート12とを熱融着により接合し、(B)図及び(C)図に示すように、レジスト48を形成して孔部49にウエットエッチングによりお椀型の段差孔22を形成する。さらに、(D)図及び(E)図に示すように、ノズルプレート14にプールプレート16を積層するとともに、保護プレート12に撥水膜18を塗布する。その後、(F)図に示すように、レーザー加工によりノズルプレート14にノズル20を形成する。このような製造方法では、ノズル20を形成する前のノズルプレート14と段差孔22を形成する前の保護プレート12とを熱融着により接合するので、接合時に高精度な位置調整が必要でない。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
記録媒体にインク滴を吐出する複数のノズルを有する積層ノズルプレートの製造方法であって、
ノズルを形成する前のノズルプレートに保護プレートを接合する工程と、
前記保護プレートに段差孔を形成する工程と、
前記保護プレート及び前記段差孔内に撥水膜を形成する工程と、
前記段差孔内の前記ノズルプレートに、前記段差孔の孔径よりも小さい口径のノズルを形成する工程と、
を有することを特徴とする積層ノズルプレートの製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
2C057AF43
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP27
, 2C057AP33
, 2C057AP57
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
, 2C057BA03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)