特許

J-GLOBAL ID：200903052049367177

二成分合金

発明者： ブライアン ジェイ. マッターナン ,  マイケル ダブリュ. ペレッティ ,  ジョセリーン オー. マッギーバー
出願人/特許権者： クルーシブル マテリアルス コーポレイシヨン
代理人 (1件)： 桑原 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-339032
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 スパッタリング ターゲットに用いられる合金であって、伝導性、耐掻き傷性、耐ぎらぎら性に優れ、組成が一様にして、仕上げ皮膜が粗くならない合金を提供する。【解決手段】 前もって合金化された粉末の二成分シリコン合金は10wt%(ゼロを除く)のアルミニウムを含む。合金はガス噴霧された前もって合金化された粉末の形態であり、粉末は物体を作るようプラズマ溶射(スプレイ)により固められる。好ましくは、物体はスパッタリング ターゲットである。

請求項（抜粋）：

10wt%以下(ゼロを除く)のアルミニウムと、残部がシリコンを本質的に含む前もって合金化された粉末からなる二成分合金。

IPC (4件)：

C22C 28/00 ,  C22C 1/04 ,  C23C 4/06 ,  C23C 14/34

FI (4件)：

C22C 28/00 Z ,  C22C 1/04 C ,  C23C 4/06 ,  C23C 14/34 A

Fターム (17件)：

4K018AA40 ,  4K018BA20 ,  4K018KA29 ,  4K029AA09 ,  4K029BA03 ,  4K029BA35 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC08 ,  4K031AA06 ,  4K031AB02 ,  4K031CB09 ,  4K031CB31 ,  4K031CB37 ,  4K031DA01 ,  4K031DA04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• Al含有Si基合金ターゲット材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-138897   出願人：株式会社神戸製鋼所