特許
J-GLOBAL ID:200903052051445983

外観検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村山 光威
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-133225
公開番号(公開出願番号):特開2005-315693
出願日: 2004年04月28日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】被検査物に対して照射する光の照射条件の設定幅を広げることにより、外観不良を十分に検出することができる被検査物の形状,サイズ,材質の許容範囲を広げ、利用価値の高い外観検査装置を提供する。【解決手段】検査面3が水平になるように被検査物1を把持する把持機構2と、被検査物1の検査面3に光を照射する照明器4a,4bと、照明器4a,4bまたは該照明器の一部を水平軸回りに回転させるための回転駆動機構6a,6bと、照明器4a,4bを鉛直方向に移動するための直線駆動機構7と、照明器4a,4bを鉛直軸回りに旋回させるための旋回駆動機構8と、被検査物1の検査面3を撮像するためのCCDカメラ9と、該CCDカメラ9で撮像した画像を分析する画像分析処理装置10とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検査面が水平となるように被検査物を把持する把持機構と、被検査物の検査面に光を照射するための照明器と、該照明器または該照明器の一部を水平軸回りに回転するための回転駆動機構と、検査面に対向して検査面を撮像するためのCCDカメラと、該CCDカメラで撮像した画像を分析するための画像分析処理装置とを備えたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (1件):
G01N21/84
FI (1件):
G01N21/84 E
Fターム (9件):
2G051AA01 ,  2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB02 ,  2G051BC07 ,  2G051EA16
引用特許:
出願人引用 (2件)

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