電子線露光の位置合わせマークおよび電子線露光の位置合わせマークの検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：桑井清一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350111
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192994
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】電子線露光時の位置合わせマーク検出にて、マーク検出時の電子線の走査回数を従来よりも低減し、検出時間の短縮を図る。マーク溝の断面形状が左右非対称でも、従来よりも正確な位置検出を行う。【構成】試料上に予め任意の回転角を与えた位置合わせマークを配置し、1回の走査でマーク辺の2箇所を横切るように、X軸、Y軸とも1回だけ電子線走査し、それぞれについて得られる2箇所のマーク間の距離から、位置合わせマークの中心位置および試料の回転角を求める。また、平行な2本の溝の十字型の位置合わせマークを電子線走査し、2本の溝からの信号成分の相関を演算して、位置合わせマークの位置検出精度を高める。この位置合わせマークを試料上に回転させて配置しても、走査回数を2回に低減できる。マーク溝の断面形状が左右非対称でも位置検出精度は低下しない。

請求項（抜粋）：

試料にパターンを描画する電子線露光において試料の位置合わせに使用される電子線露光の位置合わせマークであって、互いに所定角度をなして交差する2辺を有し、各辺は断面が凹状または凸状の少なくとも一対の部分で構成し、これらの部分は所定間隔離間して略平行に延びることを特徴とする電子線露光の位置合わせマーク。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 541 K , H01L 21/30 502 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-186327
特開平2-132818
特開平4-100207

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