特許
J-GLOBAL ID：200903052116514694

ステージ装置及び露光装置

発明者：
田中 慶一

田中 慶一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426293
公開番号（公開出願番号）：特開2005-183876
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 比較的簡単な構成でステージのアクティブ除振を行うことができ、位置決め精度を向上することのできるステージ装置等を提供する。【解決手段】 ステージ装置1は、X軸方向(ステップ方向)及びY軸方向(スキャン方向)に移動・位置決め可能な2軸ステージである。ステージ装置1の各Yスライダ21、22の側面、ならびに、ステージ33の両側面には、制振用アクチュエータ41が設けられている。各制振用アクチュエータ41の他端(端部)には、それぞれ制振マス43が取り付けられている。ステージ装置1は、ステージ制御系(主制御系と制振制御系)が接続されており、このステージ制御系の制御により、ステージの残留振動が抑えられる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、 前記ステージに一端が接続された制振アクチュエータと、 該アクチュエータの他端に取り付けられた制振マスと、 前記ステージの目標加速度を与える手段と、 前記ステージの現在加速度を検知する手段と、を有し、 前記制振アクチュエータが、前記ステージの目標加速度と現在加速度の差に対応する駆動力を発して前記ステージの振動を低減するアクティブ除振機構を構成することを特徴とするステージ装置。
IPC (4件)：
H01L21/027 ,  F16F15/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (6件)：
H01L21/30 503F ,  F16F15/02 A ,  F16F15/02 C ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A
Fターム (16件)：
3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048BF00 ,  3J048EA07 ,  5F031CA02 ,  5F031HA55 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031JA14 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046AA23 ,  5F046CC17
引用特許：
審査官引用 (7件)
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