露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-300512
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110523
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】モータを使用しないステージを備えた露光装置を提供する。【解決手段】 X-Yステージは、Xガイド軸11とこれに沿って移動可能なXスライダ12とを含むXアクチュエータ10と、Yガイド軸21とこれに沿って移動可能なYスライダ22とを含むYアクチュエータ20とを備える。各アクチュエータは、ガイド軸の周囲とスライダとの間に圧力室を形成すると共に、該圧力室を軸方向に関して2つのシリンダ室に区画する隔壁をスライダ、ガイド軸の一方に設け、2つに区画されたシリンダ室にそれぞれ、ガイド軸内に設けられた供給/排出通路を通して圧縮空気を出入り可能にすることにより構成され、一方のガイド軸を他方のガイド軸のスライダに連結することにより、該一方のガイド軸のスライダに装着した前記ステージをX軸方向、Y軸方向に移動可能とした。

請求項（抜粋）：

露光されるべきワークを搭載するためのステージを備えた露光装置において、前記ステージの駆動機構として流体圧駆動によるアクチュエータを有することを特徴とする露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 7/20 503 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 541 L

Fターム (17件)：

2H097CA15 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5F031CA02 , 5F031HA57 , 5F031KA06 , 5F031LA03 , 5F031MA27 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC19 , 5F046DA07 , 5F046DB04 , 5F046GA08 , 5F046GA11 , 5F056EA12 , 5F056EA14

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭64-035108
ステージ制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-226495 出願人：株式会社ニコン
特開平1-200928

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