特許
J-GLOBAL ID：200903052123382876
表面プロフィール測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007586
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206145
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 表面プロフィールを正確に測定する。【解決手段】 移動式距離計による測定値に対し、3個以上の固定式距離計による測定値を用い被測定物表面プロフィールの空間的低周波数成分を求め、該固定式距離計による離散的な測定値を基準として前記移動式距離計の測定値を補正することにより表面プロフィールを求める。
請求項（抜粋）：
被測定物に対し、該被測定物の表面測定方向に沿ってその両端を含む3ヶ所以上の位置に固定された3個以上の固定式変位検出器によって各固定式変位検出器から前記被測定物の表面までの距離を測定し、これらの測定値をもとに該被測定物の表面プロフィールの概形P1(X)を求めると共に、前記被測定物の表面測定方向に沿って移動する1個以上の移動式変位検出器によって、前記表面全体について該移動式変位検出器から該表面までの距離を測定し、この測定値から前記被測定物の表面プロフィールの候補P2(X)を求め、該表面プロフィールの候補P2(X)の空間的低周波数成分が前記表面プロフィールの概形P1(X)に一致するように表面プロフィールの候補P2(X)を補正することにより、前記被測定物の表面プロフィールを求めることを特徴とする表面プロフィール測定方法。
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (2件)
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