光導波路の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157984
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320421
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】製造時間の短縮化、及び製造コストの削減を計った光導波路の製造方法を提供することを目的とする。【構成】第1のガラス素材(BK7)の片面に、エッチングによって所望する光導波路のコア部を成す凹部の形状が形成される。次に、前記第1のガラス素材より屈折率が高く、軟化点の低い第2のガラス素材(VC-78)を前記第1のガラス素材の凹部に充填させる。次に、充填された第2のガラス素材が所望するコア形状となるように、充填された第2のガラス素材かつ/又はエッチング処理された第1のガラス素材の不要部が機械加工されて除去される。この後、加工された面に第1のガラス素材とほぼ同一の屈折率を有するガラス素材を接合させる。

請求項（抜粋）：

光導波路のクラッド層に相当する第1のガラス素材の一方の面上に、所望の形状のコアに相当する部分をエッチング処理することで凹部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成した凹部に、第1のガラス素材と屈折率が異なる第2のガラス素材を、少なくとも前記凹部が満たされるまで充填する第2の工程と、前記第2の工程で前記凹部内に充填された第2のガラス素材を残存させて少なくとも該凹部から溢れ出ている第2のガラス素材を除去する第3の工程と、前記第3の工程で少なくとも該凹部から溢れ出ている第2のガラス素材が除去された面に、第1のガラス素材と少なくとも屈折率がほぼ等しいガラス素材を接合してクラッド層を形成する第4の工程と、を具備したことを特徴とする光導波路の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭64-026806
光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-265368 出願人：日立電線株式会社
特開平3-215805

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