特許
J-GLOBAL ID:200903052132612183

圧電振動体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-349517
公開番号(公開出願番号):特開平10-185578
出願日: 1996年12月27日
公開日(公表日): 1998年07月14日
要約:
【要約】【課題】 熱膨張率の差に起因する振動体の反りを抑制し、且つ、駆動振動部内で発生するスプリアス振動を有効に抑制でき、出力感度を向上させることができる圧電振動体を提供する。【解決手段】矩形状の結合基部2の対向する一方の端面に、駆動電極31〜34、41〜44が形成された偶数の駆動振動枝3、4からなる駆動振動部1Aを、他方の端面に、検出電極52、53、62、63が形成された偶数の検出側振動枝5、6からなる検出振動部1Bを配置してなる圧電振動体1において、前記偶数の検出側振動枝5、6間に跨がるように保持枝7に配置するとともに、該保持枝7に駆動電極31〜34、41〜44に接続する駆動入力電極71、72及び検出電極51〜54、61〜64と接続する検出出力電極73(75、77)、76(74、78)が形成されている。そして、この保持枝7は、検出側振動枝5、6の所定振動の節部分となる位置に跨がっている。
請求項(抜粋):
矩形状の結合基部の対向する一方の側面に、駆動電極が形成された偶数の駆動振動枝からなる駆動振動部を、他方の側面に、検出電極が形成された偶数の検出側振動枝からなる検出振動部を配置してなる圧電振動体において、前記偶数の検出側振動枝間に跨がるように保持枝を配置させるとともに、該保持枝に前記駆動電極に接続する駆動入力電極及び前記検出電極と接続する検出出力電極を形成したことを特徴とする圧電振動体。
IPC (4件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  G03B 5/00
FI (4件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00 K ,  H01L 41/08 Z
引用特許:
出願人引用 (2件)

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