角速度センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278142
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】移動体の姿勢制御やナビゲーションシステムに用いる角速度センサに関し、高感度化、低オフセット化、低オフセットドリフト化、低並進加速度感度化、高耐衝撃性を小型、低コストで実現することを目的とするものである。【構成】水晶材料からなり、4本の平行な振動腕12〜15とこの振動腕の片端部または両端部を共通に支持する支持部11を持ち、内側、外側のそれぞれ2本の振動腕の支持部11への内側付け根の振動腕方向の位置が一致するかまたは異なる櫛形状の複合音叉10の外側の2本の振動腕12,15を駆動側音叉、内側の2本の振動腕13,14を検出側音叉として駆動・検出に対応させる構成としたものである。

請求項（抜粋）：

水晶材料からなり、4本の平行な振動腕とこの振動腕の片端部を共通に支持する支持部を持ち、内側、外側のそれぞれ2本の振動腕の支持部への内側付け根の振動腕方向の位置が一致するかまたは異なる櫛形状の複合音叉を、複合音叉の幅方向(X方向とする)を水晶結晶軸の電気軸とし、複合音叉の長手方向(Y方向とする)と厚み方向(Z方向とする)をそれぞれ水晶結晶軸の機械軸と光軸を起点として電気軸回りにθ度回転させた方向として形成し、この複合音叉の外側の2本の振動腕を駆動側音叉または検出側音叉に、内側の2本の振動腕を検出側音叉または駆動側音叉として駆動・検出対応させ、この複合音叉の駆動側音叉腕の支持部にわたる表裏面あるいは側面には駆動電極を、検出側音叉腕の支持部にわたる表裏面あるいは側面には検出電極を配設し、前記駆動側音叉の片方または双方の振動腕上の駆動側電極に交流電力を印加して駆動側音叉に互いに逆相のX方向屈曲振動を発生持続させ、外部から支持部を含むこの複合音叉全体に回転作用する角速度ベクトルが入力したとき、駆動側音叉または検出側音叉のX方向の振動をしている部分に働くコリオリの力のZ方向成分を源駆動力として誘起する検出側音叉上の互いに逆相のZ方向屈曲振動によって検出電極に発生した電荷を検出することにより入力角速度に比例した電気信号を得るように構成した角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01C 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01C 9/04

引用特許：

出願人引用 (5件)

セラミック圧電複合形角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-078713 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-324311
ビーム振動型ジャイロ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-141018 出願人：ソシエテ・ダプリケーション・ジェネラル・デエレクトリシテ・エ・ドウ・メカニク・サジェム

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