特許

J-GLOBAL ID：200903052145795856

感放射線性組成物用アルカリ性現像液

発明者： 増子 英明 ,  根本 宏明 ,  別所 信夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-110204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286387
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【構成】 本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液は、[A]アルカリ性化合物および[B]曇点が50°C以上の非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、pHが9〜13である。【効果】 本発明の感放射線性組成物用アルカリ性現像液を用いて塗膜を現像してパターン状薄膜を形成すると、膜はがれが生じることなくかつ不要な塗膜を十分に溶解して除去することができ、スカム、膜残りなどが発生することなくシャープなパターンエッジを有するパターン状薄膜を形成することができる。本発明の感放射線性組成物用アルカリ性現像液は、保管および輸送の際に、現像液中の成分が二相に分離するという問題を防ぐことができる。このような本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ現像液は、高分子量のバインダーポリマーを含み、シリカ粒子、顔料などの微粒子が分散された感放射線性組成物から形成された塗膜を現像する際にも好適に用いられる。

請求項（抜粋）：

[A]アルカリ性化合物および[B]曇点が50°C以上の非イオン性界面活性剤を含む水溶液であって、pHが9〜13であることを特徴とする感放射線性組成物用アルカリ性現像液。

IPC (3件)：

G03F 7/32 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (3件)：

G03F 7/32 ,  H05K 3/06 G ,  H01L 21/30 569 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感放射線性組成物用アルカリ性現像液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-066395   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 特開昭61-167948