精密位置決め装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159113
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055719
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】コストや強度の点で実用化に適し、また非接触案内機構の特徴である低剛性に基づく姿勢の乱れや振動を適正に補正し、安定した高精度の位置決めを高速で達成可能な非接触式精密位置決め装置を提供する。【解決手段】除振手段10,11上に支持された定盤4と、該定盤上に設けた非接触案内手段1と、該案内手段により案内される位置決め制御すべき移動体3と、該移動体の駆動手段2と、該移動体の状態計測手段5と、該状態計測手段からの出力x1および目標設定値RPとに基づいて前記駆動手段に対し第1の指令信号u’を出力する第1制御手段7と、前記状態計測手段からの出力x1と前記駆動手段への入力信号uとに基づいて前記移動体に対する外乱力を算出しこれを打ち消すための第2の指令信号u”を出力する第2制御手段8とを備え、前記第1の指令信号u’と第2の指令信号u”とを加算して前記駆動手段への入力指令信号uとする。

請求項（抜粋）：

除振手段上に支持された定盤と、該定盤上に設けられた非接触案内手段と、該案内手段により非接触で案内される位置決め制御すべき移動体と、該移動体を駆動するリニアモータと、該移動体の状態計測手段と、該状態計測手段からの出力と目標設定値とに基づいて前記リニアモータに対し第1の指令信号を出力する第1制御手段と、前記状態計測手段からの出力と前記リニアモータへの入力信号に基づいて前記移動体に対する外乱力を算出しこれを打ち消すための第2の指令信号を出力する第2制御手段とを備え、前記第1の指令信号と第2の指令信号とを加算して前記リニアモータへの入力指令信号とすることを特徴とする半導体露光装置の位置決め装置。

IPC (5件)：

G05D 3/12 305 , G03F 7/20 521 , G05B 13/02 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (7件)：

G05D 3/12 305 V , G03F 7/20 521 , G05B 13/02 C , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 516 B

Fターム (50件)：

5F031CA02 , 5F031JA01 , 5F031JA28 , 5F031JA30 , 5F031JA45 , 5F031JA51 , 5F031KA05 , 5F031LA02 , 5F031LA08 , 5F046AA23 , 5F046CC03 , 5F046CC13 , 5F046CC16 , 5F046DB04 , 5H004GA07 , 5H004GA09 , 5H004GB18 , 5H004HA07 , 5H004HA12 , 5H004HA14 , 5H004HB07 , 5H004JA03 , 5H004JB22 , 5H004KA01 , 5H004KB01 , 5H004KC38 , 5H004KC55 , 5H004LB05 , 5H004MA15 , 5H303AA06 , 5H303BB01 , 5H303BB06 , 5H303BB11 , 5H303CC03 , 5H303DD04 , 5H303DD22 , 5H303EE03 , 5H303FF04 , 5H303GG13 , 5H303HH02 , 5H303HH07 , 5H303JJ02 , 5H303JJ05 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303KK04 , 5H303KK22 , 5H303KK36 , 5H303LL03 , 5H303QQ06

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-044593
特開平2-301126
特開平3-110606

全件表示

前のページに戻る