ウエハ検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325224
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150624
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】ウエハキャリアに収納されたウエハの有無を判断するだけでなく、ウエハ収納異常の有無をも判断できるウエハ検出装置を提供する。【解決手段】ウエハキャリア30に収納されたウエハに検出光を投光する投光手段11aと、投光手段によって投光された検出光を検出する受光手段11bと、ウエハの外周面を横切るように投光手段及び受光手段をウエハキャリアに対して相対的に移動させ、且つその検出位置情報を出力する移動手段12と、受光手段によって得られた受光量の変化と検出位置情報に基づき、ウエハの収納状態を判断する判断手段21とを有するウエハ検出装置であって、判断手段が、一定の受光量基準値と当該基準値を超えた受光量曲線とで形成される受光量変化領域の面積に基づきウエハ収納異常を判断する。

請求項（抜粋）：

ウエハキャリアに収納されたウエハに検出光を投光する投光手段と、前記投光手段によって投光された検出光を検出する受光手段と、前記ウエハの外周面を横切るように前記投光手段及び前記受光手段をウエハキャリアに対して相対的に移動させ、且つその検出位置情報を出力する移動手段と、前記受光手段によって得られた受光量の変化と前記検出位置情報に基づき、前記ウエハの収納状態を判断する判断手段とを有するウエハ検出装置であって、前記判断手段は、一定の受光量基準値と当該基準値を超えた受光量曲線とで形成される受光量変化領域の面積に基づきウエハ収納異常を判断することを特徴とするウエハ検出装置。

FI (2件)：

H01L 21/68 L , H01L 21/68 T

Fターム (9件)：

5F031DA01 , 5F031DA05 , 5F031JA05 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031JA25 , 5F031JA32 , 5F031JA43 , 5F031JA51

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-321253
半導体ウエハ認識装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-329766 出願人：株式会社ダイヘン
特開平4-345049

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