特許

J-GLOBAL ID：200903095410035037

半導体ウエハ認識装置

発明者： 北原 誠二 ,  櫛田 敏和
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329766
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153818
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 カセット内におけるウエハの存在位置及び収納状況の異常を認識する。【構成】 カセットとカセット内に位置されたウエハの左右との隙間に挿入する透過式センサーと、センサーをウエハ取り出し口よりカセット内に侵入退避する手段と、センサーをカセット内のウエハを検出するためにカセットのウエハ収納棚の全段を移動させる手段と、センサーの出力信号と上下方向位置との組み合わせを記憶し、ウエハ搬送時にウエハ収納情報として取り出す制御装置を具備したウエハ認識装置。

請求項（抜粋）：

カセット内に収納された半導体ウエハをウエハ搬送ロボットにより他の装置へ搬送する装置に用いる半導体ウエハ認識装置において、前記カセットと前記ウエハの左右との隙間に挿入する透過式センサーと、前記センサーを前記カセットのウエハ取り出し口よりカセット内に侵入退避する手段と、前記センサーをカセット内のウエハを検出するためにカセットのウエハ収納棚の全段を移動させる手段と、前記センサーの出力信号と上下方向位置との組み合わせをウエハ収納情報として記憶し、ウエハ搬送時に出力する制御装置を具備した半導体ウエハ認識装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 59/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-321253
  
• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-174867   出願人：富士通株式会社
• 特開平4-321253