蒸着膜の検査方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314926
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167625
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、真空蒸着作業中に蒸着膜の厚み評価をリアルタイムでできる蒸着膜の検査方法を得ることにある。【構成】真空蒸着釜1内を走行する透光性プラスチックフィルム11の蒸着膜Cが付けられた蒸着済み部分が通る検査位置に配置された光源21および前記フィルム11の幅方向に走査される一次元CCDイメージセンサ28を有した検査カメラ22との間を通る前記蒸着済み部分についての前記光源21からの透過光を前記検査カメラ22で受光して、前記蒸着膜Cが付いた膜部分のみを通った透過光についての受光量に応じた電圧レベルの膜部データをもとに膜部検査データを求め、適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分の透過光量について予め定められた所定電圧レベルの膜厚基準データと前記膜部検査データとを比較して、前記蒸着膜Cの厚みを評価することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

真空蒸着釜内を走行する透光性プラスチックフィルムの蒸着膜が付けられた蒸着済み部分についての検査位置に配置された光源および前記フィルムの幅方向に走査される一次元CCDイメージセンサを有した検査カメラ間を通る前記蒸着済み部分を透過した前記光源からの透過光を前記検査カメラで受光して、前記蒸着膜が付いた膜部分のみを通った透過光についての受光量に応じた電圧レベルの膜部データをもとに膜部検査データを求め、適正厚みの蒸着膜が付いた基準膜部分の透過光量について予め定められた所定電圧レベルの膜厚基準データと前記膜部検査データとを比較して、前記蒸着膜の厚みを評価することを特徴とする蒸着膜の検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/06 , C23C 14/24 , G01B 21/08 , G01D 1/18

引用特許：

出願人引用 (5件)

真空成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-254635 出願人：凸版印刷株式会社
塗膜の膜厚簡易検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-231903 出願人：ダイセル化学工業株式会社
特開平4-258704

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審査官引用 (5件)

真空成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-254635 出願人：凸版印刷株式会社
塗膜の膜厚簡易検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-231903 出願人：ダイセル化学工業株式会社
特開平4-258704

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