プローブカード

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-218357
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040051
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【目的】微細化、高密度化、高集積化した現代のLSIチップ等の測定対象物に対応させる。【構成】測定対象物であるLSIチップ900の電気的諸特性の測定に用いられるプローブカードであって、主導電パターン210が形成された主基板200と、先端の接触部110がLSIチップ900の電極パッド910に接触するとともに、後端の接続部120が先鋭化されたプローブ100と、プローブ100と主基板200との間に介在され、プローブ100と主基板200の主導電パターン210とを接続する副導電パターン310を有する副基板300と、副基板300に開設され、副導電パターン310の一方の端部312が露出したバイアホール320に嵌まり込み、一方の端部312に接触する導電性を有するバネ400とを備えており、プローブ100の後端の接続部120がバネ400に接続されるようになっている。

請求項（抜粋）：

測定対象物の電気的諸特性の測定に用いられるプローブカードにおいて、主導電パターンが形成された主基板と、先端の接触部が測定対象物の電極パッドに接触するとともに、後端の接続部が先鋭化されたプローブと、このプローブと前記主基板との間に介在され、プローブと主基板の主導電パターンとを接続する副導電パターンを有する副基板と、この副基板に開設され、前記副導電パターンの一方の端部が露出したバイアホールに嵌まり込み、前記一端に接触する導電性を有するバネとを具備しており、前記プローブの後端の接続部が前記バネに接続されることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

Fターム (23件)：

2G003AA07 , 2G003AG03 , 2G003AG08 , 2G003AG12 , 2G003AG19 , 2G003AH05 , 2G011AA02 , 2G011AA15 , 2G011AA17 , 2G011AB01 , 2G011AB04 , 2G011AC05 , 2G011AC14 , 2G011AD01 , 2G011AE03 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD04 , 4M106DD06 , 4M106DD10 , 4M106DD18 , 4M106DD30

引用特許：

審査官引用 (1件)

フォイル・アダプタを有するプリント回路基板テスト装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-511626 出願人：マニア・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー

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