銅ダマシン配線用めっき液

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小野信夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249453
公開番号（公開出願番号）：特開2000-080494
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】特別の機械あるいは電気的設備を必要とせずに、微細な溝あるいは孔に対し、気泡の発生を防ぎながら効率よく銅めっきを行うことのできる銅ダマシン配線用めっき液を提供すること。【解決手段】硫酸銅濃度が4g/l〜200g/l、硫酸濃度が10〜200g/lおよび塩素イオン濃度が0〜100mg/lであり、必要によりイオウ系化合物および高分子化合物を含有する銅ダマシン配線用銅めっき液。

請求項（抜粋）：

硫酸銅濃度が4g/l〜200g/l、硫酸濃度が10〜200g/lおよび塩素イオン濃度が0〜100mg/lであることを特徴とする銅ダマシン配線用銅めっき液。

IPC (4件)：

C25D 3/38 101 , C25D 7/12 , H01L 21/288 , H01L 21/3205

FI (4件)：

C25D 3/38 101 , C25D 7/12 , H01L 21/288 E , H01L 21/88 M

Fターム (36件)：

4K023AA19 , 4K023BA06 , 4K023CA01 , 4K023CA09 , 4K023CB08 , 4K023CB13 , 4K023CB28 , 4K023CB32 , 4K023DA06 , 4K023DA07 , 4K023DA08 , 4K024AA09 , 4K024AB08 , 4K024BB12 , 4K024CA02 , 4K024CA04 , 4K024CA06 , 4K024GA16 , 4M104BB04 , 4M104DD52 , 4M104GG13 , 4M104HH14 , 4M104HH20 , 5F033HH11 , 5F033MM01 , 5F033PP27 , 5F033QQ48 , 5F033WW00 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033WW08 , 5F033XX04 , 5F033XX05 , 5F033XX06 , 5F033XX33 , 5F033XX34

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平2-185992
酸性銅めっき浴及びこれを使用するめっき方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-308063 出願人：奥野製薬工業株式会社
電気銅めつき法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287109 出願人：住友金属鉱山株式会社

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