特許
J-GLOBAL ID：200903052238710273
表面状態測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
, 櫻井 智
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-225643
公開番号（公開出願番号）：特開2009-058360
出願日： 2007年08月31日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】複数種類の測定装置を使用することなく(1台の装置を用いて)、また試料の複数箇所を測定して平均化処理するといったことなく、容易に(短時間で)且つ精度良く試料表面状態(曲面や微小面)の測定を行うことが可能な表面状態測定装置を提供する。【解決手段】試料の表面状態を測定する表面状態測定装置であって、前記試料に対して投光する投光手段と、当該試料面で反射された反射光を受光する受光手段と、前記投光手段による投光光束の断面積を変更することが可能に構成された変更手段とを備える表面状態測定装置とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の表面状態を測定する表面状態測定装置であって、
前記試料に対して投光する投光手段と、
当該試料面で反射された反射光を受光する受光手段と、
前記投光手段による投光光束の断面積を変更することが可能に構成された変更手段とを備えることを特徴とする表面状態測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G059AA02
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059JJ11
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G059NN05
, 2G059PP04
出願人引用 (1件)
-
光沢度測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-268883
出願人：株式会社東海理化電機製作所
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