特許

J-GLOBAL ID：200903052246018680

インク噴射記録ヘッドチップ、インク噴射記録ヘッドチップの製造方法および記録装置

発明者： 三谷 正男 ,  山田 健二 ,  川澄 勝則 ,  清水 一夫 ,  町田 治
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-353876
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【課題】ヘッドクリーニングの削除又は大巾な削減を可能とするために、オリフィスプレートの表面層を撥水処理するとともに、オリフィスプレートに形成されるノズル列を高密度に2次元的に配列したヘッド基板を薄膜プロセスを用いて効果的に、すなわち工程数を削減して製造できる方法を提供する。【解決手段】複数個の発熱抵抗体と、複数個の吐出口と、複数個の個別インク通路とを備えるインク噴射記録ヘッドチップを製造する方法において、前記発熱抵抗体の形成された前記基板上に隔壁を設けた後、この隔壁の上に前記吐出口を形成すべきプレートを接着し、この接着されたプレートの表面に金属薄膜を形成し、前記吐出口を形成するプレートの部分に対応した前記金属薄膜の部分にフォトエッチングにより穴をあけ、このフォトエッチングの行なわれた金属薄膜をマスクとするドライエッチングにより、前記プレートに前記吐出口を穿孔する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された薄膜抵抗体と薄膜導体からなる複数個の発熱抵抗体と、前記複数個の発熱抵抗体のそれぞれに対応して、前記基板上に形成された薄膜抵抗体の略垂直上方に設けられ、前記複数個の発熱抵抗体に順次パルス通電することによって前記発熱抵抗体と垂直又はほぼ垂直方向にインク滴を吐出する複数個の吐出口が、穿孔されて形成されたプレートと、このプレートに穿孔された複数個の吐出口のそれぞれに対応して前記基板と前記プレート間に設けられ、前記基板と前記プレート間に設けられた隔壁によって仕切られた複数個の個別インク通路とを有し、前記プレートは、前記吐出口の周りのプレートの表層に撥水性被膜が、その下層に金属薄膜が形成されたことを特徴とするインク噴射記録ヘッドチップ。

IPC (3件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/135 ,  B41J 2/16

FI (3件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 N

Fターム (16件)：

2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG46 ,  2C057AG83 ,  2C057AN05 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP55 ,  2C057AP60 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ03 ,  2C057BA03 ,  2C057BA13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• インクジェット記録装置用吐出ノズル板およびその製造 方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-015522   出願人：松下電器産業株式会社