特許

J-GLOBAL ID：200903052254548575

表面の微粒子汚染物質を測定する装置

発明者： ドナルド・アーネスト・ウッドマンシー
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 松本 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-290338
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131196
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 機械表面の清浄度を迅速に測定する。【解決手段】用具(12、112)は、面(22、122)を規定する直径の大きな部分(20、120)と、そこから延出する直径の小さな部分(24、124)とを含む。汚染物質を採取するために、直径の大きな部分(20、120)の面(22、122)に微粒子採取部材(14)が着脱自在に装着されている。用具(12、112)は、直径の小さな部分(24、124)から延出するスピンドル(30)と、スピンドル(30)に摺動自在に装着されたスプール(32)とを更に含む。スプール(32)を直径の小さな部分(24、124)から離間するように偏向するために、直径の小さな部分(24、124)とスプール(32)との間にばね(34)が配設されている。スプール(32)が下方へ押されてばね(34)を圧縮させたときに現れるように、インジケータ(36)がスピンドル(30)に設けられている。

請求項（抜粋）：

表面の微粒子汚染物質を測定する装置(10)において、本体部分(13、113)と、前記本体部分(13、113)に着脱自在に装着された微粒子採取部材(14)とを有する用具(12、112)と、既知の面積を有する開口部(28)が形成されているマスク(16)と、前記用具(12、112)を前記マスク(16)に結合する柔軟な結合部材(18)とを具備する装置(10)。

IPC (2件)：

G01N 1/04 ,  G01N 1/02

FI (3件)：

G01N 1/04 V ,  G01N 1/02 A ,  G01N 1/02 N

Fターム (9件)：

2G052AA04 ,  2G052AD15 ,  2G052AD55 ,  2G052BA02 ,  2G052BA19 ,  2G052GA11 ,  2G052HB07 ,  2G052HC34 ,  2G052JA02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表面汚染検査装置、該検査装置のスミヤパッド及び該スミヤパッドのスミヤろ紙自動交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-144118   出願人：富士電機株式会社