特許
J-GLOBAL ID：200903052282245316

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-321019
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091427
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 ラインエッジラフネス、露光マージンが改良された感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A1)活性光線又は放射線の照射により、ベンゼンスルホン酸よりも強い酸を発生する化合物、(A2)活性光線又は放射線の照射により、ベンゼンスルホン酸と同等又はそれよりも弱い酸を発生する化合物及び(B)単環又は多環の環状炭化水素構造を有するとともに少なくとも1種類のアクリル酸エステル誘導体由来の繰り返し単位を有し、且つガラス転移温度が70〜150°Cである、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A1)活性光線又は放射線の照射により、ベンゼンスルホン酸よりも強い酸を発生する化合物、 (A2)活性光線又は放射線の照射により、ベンゼンスルホン酸と同等又はそれよりも弱い酸を発生する化合物及び (B)単環又は多環の環状炭化水素構造を有するとともに少なくとも1種類のアクリル酸エステル誘導体由来の繰り返し単位を有し、且つガラス転移温度が70〜150°Cである、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂 を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R
Fターム (16件)：
2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE04 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB60 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 欧州特許第1020767号明細書
  • ポジ型感光性組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-188499   出願人：富士写真フイルム株式会社

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